光學(xué)隔振平臺在顯微鏡微觀領(lǐng)域（顯微鏡（SPM），掃描電鏡（SEM），原子力顯微鏡（AFM等））、光學(xué)領(lǐng)域、生物學(xué)領(lǐng)域、微觀硬度測試、分析天平中的應(yīng)用、音頻回放、唱片與唱機中的應(yīng)用、真空系統(tǒng)中的應(yīng)用、航天航空等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
接下來小編簡單為大家介紹下隔振技術(shù)的發(fā)展以及類型：
隔振技術(shù)可分為以下幾種，分別是：主動隔振、被動隔振、無源隔振以及有源隔振等，其中：
1、主動隔振：通過傳感器和執(zhí)行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動對目標(biāo)的影響；
2、被動隔振：通過機械裝置限制振動；3、有源隔振：使用氣動系統(tǒng)實現(xiàn)；
4、無源隔振：使用彈簧，彈性體，流體，或負(fù)剛度組件實現(xiàn)減振。
隔振原理：
1、彈簧：彈簧是一個簡單的無源隔離器，彈簧反作用于被減振物體，通過變形來吸收一定的能量。一個簡單的例子就是汽車減振器，在這種情況下，沖擊或振動產(chǎn)生機械能，被轉(zhuǎn)換為熱能，熱能被浸泡彈簧的油吸收，從而減少傳遞到車身上振動。其固有頻率可以做到很低，但是阻尼很小。優(yōu)點是擾動源頻率和系統(tǒng)固有頻率差很遠(yuǎn)時，隔振效果非常好。缺點就是一旦共振放大很嚴(yán)重。
2、橡膠：橡膠也是通過變形來吸收振動。與彈簧的區(qū)別是，橡膠能在各個方向吸收。
3、負(fù)剛度技術(shù)：負(fù)剛度隔振臺提供一個簡單，可靠，隔振解決方案，可提供6自由度的隔離，低至0.5 Hz或更低的諧振頻率。對于一個0.5赫茲系統(tǒng)，可隔離1Hz以上的振動，優(yōu)于氣動平臺5-10Hz的范圍可讓多個隔振臺一起使用。負(fù)載從幾十公斤到幾噸。易于使用和調(diào)整。比氣動平臺經(jīng)濟，占用更少的空間，且不需要進(jìn)行維護(hù)。
4、氣動平臺：氣動系統(tǒng)采用壓縮空氣活塞，吸收地面的振動。其缺點是結(jié)構(gòu)與操作復(fù)雜，需要外部氣源的支持。
